技术编号：26796062
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及曝光设备技术领域，尤其是涉及一种新型曝光机。背景技术.曝光机是指通过开启灯光发出紫外线，将光刻板的图像信息转移到光刻胶，集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂半导体加工设备。曝光机在年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业。.现有的曝光机通常包括沿光刻胶传送方向依次设置的放卷装置、曝光装置以及收卷装置，其中，曝光装置包括机架、固设于机架顶部的光刻板、固设于光刻板下方的曝光机构以及盖设于光刻板上方的盖板机构。工作过程中，光刻胶在放卷装置与收卷装置的共同作用下间歇...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。