光学元件旋转定位夹具的制作方法技术资料下载

技术编号:2680455

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本实用 新型涉及光学元件检测,一种用于绝对检验中承载测试光学元件的光学元件旋转定位夹具。背景技术以大型空间望远镜、激光惯性约束核聚变装置、极大規模集成电路制造系统为代表的现代光学系统对光学元件的质量有着极高的要求。光学元件的质量往往决定了整个光学系统的性能,因此光学元件检测技术是构建现代光学系统的基础。绝对检验消除了參考面面形误差和干涉仪系统误差的影响,得到被测面面形的绝对值,可以用于标准面形的定标,基本满足了现代光学制造的高精度面形检测需求。在绝对检验过...
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