彩色滤光片基板的曝光方法技术资料下载

技术编号:2681536

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本发明涉及一种用于液晶显示装置等的。背景技术近年来,随着液晶显示装置的大型化,用于液晶显示装置的彩色滤光片也随之大型化。彩色滤光片的制造工序中,通过光刻法对着色层进行图案化,但大型光掩膜非常高价,导致彩色滤光片的制造成本提高。因此,正在研讨各种使用小型光掩膜的新曝光方法。作为使用小型光掩膜的曝光方法,已知的方式是使用将尺寸比基板小的光掩膜装设于曝光头上的曝光机,一边搬运基板,一边对作为曝光对象的基板整面重复进行曝光(以下称为“小型掩膜连续曝光方式”)。 图...
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