技术编号：2682074
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在被处理基板上涂布液体的技术，特别涉及一种以无旋转方式在基板上形成涂布膜的涂布方法和涂布装置。背景技术 最近，在平板显示器(FPD)制造过程的照相平版印刷(photolithography)工序中，作为有利于被处理基板(如玻璃基板)大型化的抗蚀剂(resist)涂布法，普及有使长型抗蚀剂喷嘴一边从其狭缝状喷出口呈带状喷出抗蚀剂液，一边对于基板作相对移动或扫描，不需要旋转运动，在基板上涂布抗蚀剂液形成所期望的膜厚的无旋转方式(例如参照专利文献1...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。