技术编号：2682109
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明要求于2010年3月5日提交的名称为“用于光刻的I. 5d SLM”的美国临时专利申请No. 61/311,280的优先权。本发明也涉及于2010年3月5日提交的名称为“具有可变速率像素时钟的转子成像系统(rotor imaging system)和方法”的美国专利申请No. 12/718895。公开的实施例反映了由全部为Micronic Laser AB (现在为Micronic MydataAB)工作的一组发明者所做的工作。从事该项目的所有发明者...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。