技术编号：2683191
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于太阳能电池基板的曝光，尤其涉及。_背景技术曝光(exposure)技术就是在基板上覆盖一层具有感光材料(photo-sensitivematerial)的光阻层(photoresist layer),然后光源发出的平行光经过光罩照射到该光阻层上。简单地说曝光就是平行光经过光罩而使光罩上的图案完整地转移到光阻层上。但实际在后续的生产环节显影、电铸或者蚀刻时图形会因为液体冲击、温度等因素而产生变形，造成偏差。因此，要想得到合格的产品尺寸，就需要对此进...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。