技术编号：2683632
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于无掩模光刻，特别涉及一种基于数字微镜的无掩模光刻对准直O背景技术随着微光、机、电等技术的迅猛发展，微细加工技术得到了迅速发展。微光学元件在通讯、军事、空间技术、超精加工、生物医学以及信息处理等领域中得到广泛应用。这使得科研人员对微光学相关的设计、制作及应用技术展开了广泛研究。微光学在设计理论与制作方法上已有了很大的发展，为了进一步扩大微光学元件的应用领域，对其制作方法也提出了更高的要求。因此，研究便捷、有效、实时、灵活的微光学元件的制作方法仍然是...
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