基于具有定位传感以及伺服控制的挠曲致动器的光束控制的制作方法技术资料下载

技术编号:2683694

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基于具有定位传感以及伺服控制的挠曲致动器的光束控制优先权要求及相关专利申请本申请要求Bruce Borchers和Robert Stark于2011年I月28日提交的、标题为“基于具有定位传感以及伺服控制的挠曲致动器的光束控制(OPTICAL BEAM CONTROLBASED ON FLEXURE ACTUATION WITH POSITIONING SENSING AND SERVO CONTROL)” 的美国第61/437,578号临时申请的优先权,...
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