超分辨率光子筛的制作方法技术资料下载

技术编号:2684221

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本发明涉及一种光学聚焦元件,尤其是涉及一种具有超分辨率特性的光子筛。 背景技术透镜的成像分辨率可由其点扩展函数(point spread function,PSF)来表征。透 镜的焦点并非一个理想点,而是一个有大小和强度分布的光斑,光斑的强度分布被称为点 扩展函数。随着纳米技术、光存储和三维成像等技术的发展,提高透镜成像的分辨率一直是 人们所关心的问题。在成像(特别是X射线成像)、光束整形、微电子无掩模光刻、强激光能 量集中和其他需要能量聚焦到中心光斑的各...
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