技术编号：2684281
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及能够在电子部件的绝缘材料、半导体装置的表面保护膜、层间绝缘膜、 α射线屏蔽膜等耐热性涂膜、以及搭载有图像传感器、微机械或微驱动器的半导体装置等 中使用的聚酰胺树脂、含有该聚酰胺树脂的感光性树脂组合物、使用了该感光性树脂组合 物的固化浮雕图案的形成方法、以及具有该固化浮雕图案的半导体装置。更详细而言，本发 明涉及紫外线曝光时的感光特性优异、例如即使在200°C以下的加热固化条件下也显示出 优异的耐热性、耐化学药品性、机械特性和低剩余应力特性的、新型...
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