技术编号：2684993
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及属于三维结构压印，特别涉及ー种彩色纳米压印エ艺。背景技术纳米压印技木，是微纳米器件制作エ艺中的ー个重要技术，这是ー种不同于传统光刻技术的全新图形转移技木。纳米压印技术的定义为不使用光线或者辐照使光刻胶感光成形，而是直接在硅衬底或者其它衬底上利用物理学的机理构造纳米尺寸图形。三维结构在微纳系统领域有着非常重要的应用前景，通过三维加工技术能够制造出体积小、质量轻、灵敏度高、成本低的和性能优越的器件。三维结构纳米压印技术，是应用多阶模板来进行纳米压印的...
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