阵列基板的制作方法、阵列基板和显示装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2685663

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本发明涉及显示,特别涉及阵列基板的制作方法、阵列基板和显示装置。背景技术现有技术中制作TFT-LCD(Thin Film Transistor LCD,薄膜场效应晶体管液晶显示器)像素区部分薄膜晶体管器件时,为了减少关态电流Ioff,可采用多栅极结构或者掺杂结构,由于多栅极结构会降低像素开口率,所以多采用掺杂结构的薄膜晶体管。现有技术在制作像素部分薄膜晶体管器件时,需要通过额外的掩膜制作光阻图案层,在其光刻蚀程序中,曝光时很容易因对准误差而产生掺杂结构偏移...
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