技术编号：2685709
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及激光光束波面整形，特别是一种用于实现高斯波前和不规则波前激光束在远场衍射光场的波前平顶化，即实现接近于平面波前分布的光场的阵列部分环带光子筛匀光器及其制作方法。该种阵列部分环带光子筛匀光器可用于光束整形、微电子无掩模刻蚀和其它需要平面波前的各种光路中。背景技术通过各种途径对于高斯波前和不规则波前激光束进行匀光，使得光束变换成为接近于平面波前的光束是一个实用的课题，在各种光路中都有广泛的应用，比如在光束整形、微电子无掩模刻蚀和其它需要平面波前的各种...
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