技术编号：2686057
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微光机电系统，特别涉及一种双极型电磁式扫描微镜。背景技术扫描微镜作为微光机电系统(MOEMS) —种重要的器件之一，已被广泛应用于医学成像、投影仪、光谱仪及图形码阅读器等领域。其基本原理为通过精确控制镜面旋转的驱动カ，实现精确控制微镜镜面的旋转角度，从而达到精确控制光线的传播方向。目前扫描微镜大都采用静电、电磁、电热及压电等驱动原理实现驱动。传统的电磁式MOEMS扫描微镜一般只具有单极型驱动，从而造成了器件具有体积大、旋转角度小、稳定性差、功耗大...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。