技术编号：2686172
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种用于光刻设备的新型视觉系统本发明涉及一种用于光刻设备的新型视觉系统。背景技术用于大规模集成电路和FPD /TFT/0LED/TP大屏显示行业的激光光刻设备。由激光光源、空间光调制器即SLM、光学系统、视觉系统、移动平台、控制电路、数据转换软件及服务器数据处理和传输系统组成。其中，视觉系统在基板的对准、观察调试及检查测试等工作中发挥着重大作用。但是现有的视觉系统使用效果不好，对照明光的角度、光谱和色温，对观察物体的光谱特性、形状和背景的选取均达不到要求...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。