液晶生产设备的内部环境检测系统及方法技术资料下载

技术编号:2686221

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本发明涉及液晶显示,特别是涉及一种。背景技术随着液晶生产技术的不断发展,液晶显示器的不断普及,对液晶生产的效率提出了很高的要求。在液晶显示器的制造过程中,譬如在薄膜晶体管液晶显示器(Thin FilmTransistor Liquid Crystal Display, TFT-LCD)的生产制作过程中,影响 TFT-LCD 产品良率和品质的一个因素就是生产车间的环境,而生产车间的环境主要通过灰尘(Particle)的等级进行判定,灰尘的等级越高,则表示生产...
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