技术编号：2686475
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光通信，尤其是用于含有十字交叉波导结构的光器件中，像含有十字交叉波导结构的微环谐振滤波器和微环谐振波分复用器等。背景技术硅基纳米波导是制造集 成型光通信器件的重要材料之一，其波导芯区和包层的折射率差很大，因此有利于将光约束在芯区，波导的尺寸可以制作得很小，更适应大规模集成光路高密度集成的要求。并且由于采用硅基波导，与目前标准的COMS工艺兼容。光波导是基本的光子互连器件。对于亚微米级别硅基纳米波导，其传输损耗非常小，大约为I.7dB/cm，但是当...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。