技术编号：2686629
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于飞秒激光微纳加工光学器件领域，特别涉及一种，在硬质材料表面进行大规模形貌可控的微透镜阵列的制备。背景技术微透镜阵列在集成光电子、光通信、光传感、微机电系统、新型显示与照明技术、 生物医学等领域有着极其重要的应用价值。然而，由于受到当前未加工工艺水平的限制，制备大规模形貌可控的三维微透镜阵列是一个亟待解决的技术难题。传统的微加工工艺如光亥IJ、软熔法、金刚石车削及激光直写加工等工艺，仍存在制作效率低、成本高、形貌不可控等问题。近年来，飞秒激光微加工...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。