技术编号：2687721
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于微光刻的投射物镜。此外，本发明涉及一种具体包括该类型的投射物镜的光学系统、包括该类型的光学系统的投射曝光设备、使用该类型的投射曝光设备产生微结构元件的方法、以及根据该方法产生的微结构元件。背景技术例如在US 6 266 389 BK US 2005/0134980 AU US 2007/0195317 AU US2007/0058269 AU US 2007/0223112 A、US 6396067 BK US 6 361 176 BI ...
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