技术编号：2687926
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及ー种凹透镜阵列结构的制备方法，具体涉及ー种在ニ氧化钛有机无机光敏复合薄膜上制备凹透镜阵列结构的方法。背景技术微透镜阵列结构是重要的集成光学元件，在光互连和光通信领域中起着重要的作用。目前有很多种微透镜阵列结构的制备方法，包括激光直写技术、光刻胶热回流方法、灰度掩膜技术等。而目前已知的这些制备技术エ艺过程复杂、所需设备昂贵、加工周期长，不 能实现批量生产，而且制备得到的微透镜结构一般表面粗糙度比较大。而且这些加工技术多数用来制备微凸透镜阵列结构，而...
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