一种具有双面抗反射结构的红外光学窗口的制作方法技术资料下载

技术编号:2688172

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本发明属于红外光学窗口,具体涉及一种具有双面抗反射结构的红外光学窗口。背景技术现有的用于制作红外光学窗口的材料由于具有较大反射系数,所以当作为红外光学窗口时需要进行表面抗反射处理。传统的方法是在其表面淀积单层或多层抗反射镀层。但是淀积薄膜的方法具有如附着性、抗蚀性、稳定性、热胀失配、组分渗透和扩散以及不能·找到合适材料等固有问题。亚波长抗反射结构是在基底表面通过半导体大规模集成电路的工艺方法制作结构尺寸接近或小于光波波长的周期性结构。这样就很好的解决了附着...
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