技术编号：2688565
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微细制造技术和微光学，涉及ー种平凸形微透镜及其阵列制造方法。背景技术据中国科学技术大学出版社2010年出版的《微机电系统工程基础》一书第3-16页介绍，微型机电系统自20世纪80年代以来得到了世界科学和技术界、エ业产业界的广泛重视，其中的微细制造技术作为其核心技术更是研究和创新的重点和热点。该书在第21 —92针对微细加工エ艺技术，分别介绍了基于硅材料的ICエ艺的原理和方法，基于传统加工方法和特种加工方法的非硅材料制造的原理和方法。但是，相关微细...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。