滤光器及具备该滤光器的光学模块的制作方法技术资料下载

技术编号:2689250

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本发明涉及一种滤光器及具备该滤光器的光学模块。背景技术以往,作为从入射光中选择目的波长的光来出射的滤光器,公知一种气隙(airgap)型且静电驱动型的滤光器,在该滤光器中,对置配置一对基板,分别在这些基板的对置的面上设置反光镜,分别在这些反光镜的周围设置电极,并且在一方反光镜的周围设置控光(diaphragm)部,通过这些电极间的静电力使控光部变位从而使这些反光镜间的间隙(gap)(气隙)变化,由此取出希望波长的光(例如,参照专利文献I、专利文献2)。在这...
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