技术编号：2689557
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及。背景技术已知有向涂布在挠性料片上的含有光固化剂的固化性膜照射固化光以使固化性 膜固化的曝光装置。例如，在日本特开昭63-194779号公报的曝光装置中，为了防止固化引 起的固化性膜的褶皱，将照射固化光的区域设定为被支撑辊支撑的部分。还已知有例如日本特开平10-10745号公报中记载的曝光装置那样，使用配置于 光源和固化性膜之间的光掩膜板仅对固化性膜的局部照射固化光的曝光装置。在日本特开 平10-10745号公报中记载的光掩膜板上,设置有分别在料...
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