技术编号：2689862
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种搬运器，更具体地，涉及一种即使在高温工艺中也不会对基板造成影响的能安全传送基板的搬运器。背景技术 制造装置在基板(例如半导体晶片或液晶显示器(LCD)基板)上重复执行多个制造工艺(例如层形成工艺和蚀刻工艺)。为了执行这些制造工艺，制造装置包括被设计用于各制造工艺的多个室(chamber)；以及用于将基板从一个室传送到另一个室的搬运器。特别地，用于形成薄膜的溅射装置是制造半导体器件或LCD用的基本装置。图1是现有技术的溅射装置的示意图，而图2是...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。