技术编号：2689876
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及被剥离物的剥离方法，特别是涉及剥离由功能性薄膜那样的薄膜构成的被转移层并转移到透明基板那样的转移体上的。此外，本发明涉及薄膜器件的以及使用该方法制造的薄膜器件、薄膜集成电路装置和液晶显示装置。背景技术 例如在制造使用了薄膜晶体管(TFT)的液晶显示器时，经过用CVD法等在透明基板上形成薄膜晶体管的工序。在该薄膜晶体管中，有使用非晶硅(a-Si)的薄膜晶体管和使用多晶硅(p-Si)的薄膜晶体管，再者，由多晶硅制成的薄膜晶体管可分类为经过高温工艺成膜...
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