技术编号：2690378
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基本电器元件领域半导体器件中的薄膜电晶体阵列基板及其微影制造方法与光罩设计结构，特别是涉及一种可以降低曝光制程时所需的曝光次数，并可减少因曝光接合所产生的痕迹的薄膜电晶体阵列基板及其微影制造方法与光罩设计结构。背景技术 薄膜晶体管液晶显示器，主要是由薄膜电晶体阵列基板(即薄膜晶体管阵列基板，以下均称为薄膜电晶体阵列基板)、彩色滤光阵列基板和液晶层所构成，其中薄膜电晶体阵列基板，是由多个以阵列排列的薄膜晶体管，以及与每一薄膜晶体管对应配置的一画...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。