一种减小掩膜版拼接误差的方法技术资料下载

技术编号:2690454

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本发明涉及显示,特别是涉及。背景技术随着薄膜晶体管液晶显示器的面板尺寸不断增大,各TFT-IXD厂家纷纷投资高世代生产线,以期生产出更大尺寸的面板。由于面板尺寸的增大,需要利用若干个较小尺寸的掩膜版进行多次分步曝光,形成较大尺寸的面板,再通过一定的设计和排布来实现大尺寸面板的功能。采用掩膜版拼接,多次分步曝光技术可以制造出大尺寸的面板,但是掩膜版拼接时,相邻的两块掩膜版之间具有相同的曝光图案区域,形成拼接区域,如图I所示,第一掩膜版I和第二掩膜版2拼接,其...
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