技术编号：2690896
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于一种应用于玻璃基板制造过程的装置，尤指一种防止静电 聚集的光刻胶涂布机承载盘，该涂布机承载盘可避免玻璃基板与涂布机承 载盘脱离时，受脱离瞬间时所产生的静电伤害，以确保玻璃基板的良率。背景技术液晶屏幕具有轻薄而不占空间的优点，目前已大幅取代传统的阴极射 线管屏幕而普遍应用于各种场合之中。液晶屏幕的核心元件为玻璃基板，在液晶面板的制造过程中，必须在 玻璃基板上执行半导体制程以制作薄膜晶体管及线路，其中的黄光制造过 程即是在玻璃基板上涂布一层均匀的光刻...
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