技术编号：2691103
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于高精密加工エ艺，尤其涉及掩模板制作エ艺中采用的ー种高稳定性的支撑台。背景技术OLED的自发光、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗等特性使搭载OLED屏的手机令人追棒。目前，OLED已经初步确立了作为第三代显示器领导核心的地位，随着技术的成 熟和大尺寸量产エ艺的突破，OLED产品将向更大尺寸延伸。真空掩模蒸镀是制备OLED发光层的主要方法，OLED掩模板所用的材料是热膨胀系数极低的Invar合金，通常掩模板的厚度只有40 u m,带有几百万个微小的...
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