技术编号:26912077
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及半导体制造设备领域,尤其涉及一种双工位刻印与检查装置。背景技术.半导体封装工艺中需要在大型基板上的每个单位上精确刻印二维码,刻印的二维码有严格的位置精度(正负微米)和等级要求(全部为a等级)。现有的二维码刻印设备主要包括以下工位:输入工位,用于输入产品;刻印与检查工位,用于刻印二维码,并对二维码的刻印情况进行检查。这种设备主要有两个缺陷:产品的刻印和检查功能在同一个工位,效率较低;产品在工位间的转移是用吸嘴实现的,吸嘴吸取产品不稳定,当产品本身翘曲或者过重时,产品吸取会...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。