技术编号：2691866
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种通过从敏感表面上去除微粒来进行清洗的方法。这种方法尤其可与光刻投影装置结合使用，此光刻投影装置包括-用于提供辐射投影光束的辐射系统；-用于支撑图案形成装置的支撑结构，图案形成装置用于按照所需图案来使投影光束形成图案；-用于固定衬底的衬底台；和-用于将形成图案的光束投影到衬底的目标部分上的投影系统。背景技术 这里所用的用语“图案形成装置”应被广义地解释为可用于使入射辐射光束的横截面具有一定图案的装置，此图案与将在衬底的目标部分中产生的图案相对应...
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