技术编号：2692585
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及光通信领域的集成光学芯片，尤其涉及基于玻璃基离子交换掩埋光波导的集成光学芯片及制作方法。背景技术目前，市场上应用于光通信的集成光学芯片，主要基于PECVD技术制造而成。PECVD技术即等离子增强的化学气相沉积技术，其技术原理是利用低温等离子体作为能量源，将晶圆置于低气压下辉光放电的阴极上，采用辉光放电或额外发热体使样品升温到预定温度，然后通入适量的反应气体，气体在微波或射频的作用下发生电离，在局部形成等离子体，由于等离子体活性很强，气体经过一...
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