技术编号：2692817
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光刻投影装置，包括-一辐射系统，用于提供辐射投影束；-一支撑结构，用于支撑图案形成装置，该图案形成装置用于依照一想要的图案对投影束进行构图；-一基底台，用于支撑一基底；-一投影系统，用于将构成一定图案的光束投射到基底的一靶部上；-一底座；以及-一平衡块(balance mass)，支撑在所述底座上且可相对于所述底座移动。背景技术 这里所使用的术语“图案形成装置”应被广义地理解为指这样一种装置，该装置可用于使入射辐射束的横截面构成一定图案，该图...
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