技术编号：2693068
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光刻投影装置中的波前象差的测量，尤其是光刻投影装置，该装置包括-用于提供射线投影束的辐射系统；-用于支撑图案形成部件的支撑结构，该图案形成部件用于使投影束形成所需要的图案；-用于保持基底的基底台；-投影系统，用于将已形成图案的光束投影到基底的目标部分上。背景技术 此处所用的术语“图案形成部件”泛指可在入射的射线束的横截面上形成图案的部件，该图案与在基底的目标部分所产生的图案相对应；术语“光阀”也可用在这方面。一般来说，所述的图案会对应于在目标部分...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。