技术编号：2693075
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种包括阳极和阴极的辐射源单元，所述阳极和阴极被配置和排列为在所述阳极和阴极之间的物质中产生放电形成等离子体从而产生电磁辐射。而且，本发明还涉及具有上述辐射源单元的光刻投射装置，该光刻投射装置包括-辐射系统，用来提供辐射投射束；-支持结构，用来支撑构图部件，所述构图部件根据需要的图案对所述投射束构图；-基底台，用来支持基底；和-投影系统，将带图案的投射束投到基底的靶部。背景技术 这里使用的术语“构图部件”应广义地解释为能够给入射的辐射束赋予带图案...
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