微细凹凸图案基材、模具以及线栅偏振片的制作方法技术资料下载

技术编号:2693626

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本实用新型涉及一种在表面具有格子状凹凸形状的微细凹凸图案基材,特别是涉及通过多次转印而形成的微细凹凸图案基材。背景技术由于近年来的光刻技术的进步,形成具有光的波长程度的周期的微细结构(微细凹凸图案)成为可能。特别是具有Iy m以下的周期的微细凹凸图案的构件或制品不仅在半导体领域在光学领域其利用范围也比较广,是非常地有用的。例如,在基板上金属等的导电体线以特定的周期排列成格子状的线栅,如果在其周期长度比入射光(例如,可见光的波长400nm 800nm)小的情...
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