技术编号：2693677
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及光罩生产，尤其涉及一种用于化学制程的支架。背景技术随着科技的不断发展，光罩所涉及的领域越来越广，相关行业对光罩的需求量也不断增加，而且需求时间更加紧张，时效已成为企业非常重视的问题。与此同时，光刻机曝光速度越来越快，曝光完一张小版几分钟就能完成。但是化学药液腐蚀速度没有提高，化学制程这个环节严重影响了光罩制程效率。现有的光罩制程中，单次化学制程仅能制程一片铬版，生产效率非常低，无法满足 快速生产的需求；同时，每一次化学制过程中的化学腐蚀都会由...
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