技术编号:26944784
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种在石英玻璃坩埚的制造装置中使用的成型板、石英玻璃坩埚的制造装置以及石英玻璃坩埚的制造方法。背景技术.以往,在单晶半导体材料那样的单晶物质的制造中,广泛采用所谓的被称为切克劳斯基法(cz法)的方法。该方法在制造单晶硅锭的情况下,使多晶硅在容器内熔融,并且一边将晶种的端部浸入该熔融浴(融液)内并使其旋转一边进行提拉。在该方法中,具有相同的晶向的单晶在晶种下生长。在提拉单晶硅的情况下,对于该单晶提拉容器,一般使用石英玻璃坩埚。用于进行这样的cz法的石英玻璃坩埚一般使用如下这样的石英...
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