技术编号：2696724
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明为一种，主要运用于光电产品的制造工艺中，该复层式光罩是由金属光罩及形成于该金属光罩表面的树脂层所构成，该树脂层的质地较该金属光罩软；该复层式光罩的制造方法是将金属光罩进行热脱脂处理，再以电泳处理方式于该金属光罩表面附着上一层树脂层，之后依序进行清洗及烘干成型作业，最后成为一复层式光罩；通过本发明的复层式光罩利用该树脂层，能在制造工艺中的夹紧固定作业中，达到缓冲及耐磨的效果，延长该复层式光罩的替换周期及使用寿命，也能提升制造工艺的品质。专利说明[000...
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