技术编号：2697040
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种光纤对准器件，包括衬底结构，形成于衬底结构上的沟槽，形成于衬底结构表面并从顶部将沟槽封闭的封闭薄片。沟槽的宽度和深度都根据光纤直径的大小进行设置，各沟槽的长度方向的两侧供光纤插入。本发明还公开了一种光纤对准器件的制造方法。本发明能采用集成电路加工工艺形成，能够实现大规模的量产；本发明的沟槽的宽度和形状能够通过光刻工艺准确定义、沟槽的深度能够通过刻蚀工艺准确控制，能大幅度提高加工精度。专利说明[0001]本发明涉及半导体集成电路制造领域，特别...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。