技术编号：2697649
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种将抗蚀剂液等涂敷液涂敷在用于液晶显示器(LCD)等的基板上之后，在减压状态下对该涂敷液实施干燥处理的减压干燥装置。背景技术 在制造液晶显示器(LCD)时，为了在LCD用的玻璃制基板(以下简称为LCD基板)上形成电极图案，采用光刻(photolithography)技术。利用光刻法形成图案时，按照如下顺序进行首先，在玻璃制的LCD基板上涂敷抗蚀剂液，形成抗蚀剂膜，接着，以与电路图案对应的方式将抗蚀剂膜曝光，然后，对其进行显影处理。在光刻技术中，...
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