技术编号：26976956
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型属于清洗刷技术领域，具体为一种清洗机的清洗刷。背景技术.晶圆制造厂再把此多晶硅融解，再于融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成，此过程称为长晶。.硅晶棒再经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为积体电路工厂的基本原料硅晶圆片，这就是晶圆。.在晶圆加工时，表面护粘附浮尘，需要通过清洗机进行清洗，目前的清洗机清洗刷多以辊刷的形式位置，这种刷子虽然覆盖面积大，可进行多个晶圆同时清刷，...
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