硅基液晶显示器单元及其形成方法技术资料下载

技术编号:2698738

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本发明涉及半导体领域,特别涉及一种。背景技术近几年来,在液晶(LCD)业界出现了许多新技术,其中较热门的技术 是娃基液晶显示器(LCOS, Liquid Crystal on Silicon)技术。LCOS (Liquid Crystal on Silicon )属于新型的反射式micro LCD投影技术,其结构是在硅基 片上长电晶体,利用半导体工艺制作驱动面板(又称为CMOS-LCD),然后在 电晶体上透过研磨技术磨平,并镀上铝当作微反射镜,形成CMOS...
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