技术编号：2698920
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供用于具有沿着导电线的至少一个侧壁的侧壁间隔物的机电系统装置的系统、方法及设备。一种机电系统装置可包含沿着可移动层下方的导电线的至少一个侧壁的侧壁间隔物。所述侧壁间隔物可为斜面的使得所述侧壁间隔物具有远离所述可移动层下方的衬底减小的宽度。所述导电线可经配置以将电信号路由到所述机电系统装置。在一些实施方案中，机电系统装置的黑色掩模结构可包含所述导电线。专利说明沿着导电线的侧壁间隔物[0001]本发明涉及具有例如运送线或互连件等交叉导电线的电装置及用于...
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