技术编号:26992889
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域,具体涉及一种用于化学气相沉积装置的移动载具。背景技术.石墨烯(graphene)是由sp杂化的碳原子以蜂窝状晶格结构排列的一种 . nm 单层厚度的新型二维碳材料。这种新型二维(d)结构石墨烯材料的发现与其拥有特异的物理化学性质引发了科研界和产业界的研究热潮。然而, 在对碳纳米管的研究实验中, 偶然间发现了一种类似花瓣状的垂直生长在衬底上的三维(d)碳纳米材料, 这种材料被称作为垂直直立的石墨烯纳米墙, 简称垂直石墨烯。相比于二维的石墨...
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