一种导轨式调平机构的制作方法技术资料下载

技术编号:26993019

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.本实用新型涉及大口径光学夹具调平技术领域,具体是一种导轨式调平机构。背景技术.大口径光学元件的表面质量、内部瑕疵等缺陷会严重影响元件的工作性能,因此需要对大口径元件进行检测,而检测大口径光学元件需要对装夹有大口径光学元件的夹具进行精准调平,实现夹具精准的俯仰、偏摆调整。常见的大口径光学元件夹具的调平采用高分辨率线性促进器与拉簧组成的结构实现前后精准调整,但此调平机构拉簧有较大的拉伸行程,所以拉簧要满足整个调平过程中调平力的要求同时拉簧要满足调平要求的较大的拉伸长度,这种结构对拉簧选型较为困...
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