技术编号：2699388
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种微光刻投射曝光设备(10)的投射物镜，包含波前校正装置(42)，其包含第一折射光学元件(44)和第二折射光学元件(54)。第一折射光学元件包含第一光学材料，对于所述设备的工作波长，所述第一光学材料具有随温度增加而减小的折射率。第二折射光学元件包含第二光学材料，对于所述设备的工作波长，所述第二光学材料具有随温度增加而增加的折射率。在所述校正装置(42)的校正模式中，第一加热装置(46；146)在所述第一光学材料中产生非均匀且可变化的第一温度分布，第二加热...
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