技术编号：2699612
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种光刻机垂向距离测量装置，包括垂向支架和测量传感器，所述垂向支架的一端与光刻机的内部框架上的主基板连接；所述测量传感器包括本体和感应部分，所述本体设置于所述垂向支架的另一端，所述感应部分放置于所述光刻机的支撑平台上,所述本体与所述感应部分相对设置，所述本体用于向所述感应部分发送测量媒介，所述感应部分用于感应所述测量媒介，并根据感应到的所述测量媒介获取工件台与主基板之间的垂向距离。通过光刻机垂向距离测量装置能够有效测量工件台与内部框架上的主基板...
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