微镜设备及其阵列的制作方法技术资料下载

技术编号:2699797

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本申请涉及微镜设备及其阵列。背景技术 随着近来光学设备的发展,使用光作为输入和输出大量信息和用于信息传输的介质的多种技术正在发展。在这些技术中,有一种扫描从比如条形码扫描仪或扫描激光显示器的光源发出的光束的方法。根据其应用,要求光束扫描技术在扫描速度和范围上变化。在现有光束扫描技术中,主要通过控制光束关于操作镜,比如电流镜或旋转多角镜的反射面的入射角度来实现多种扫描速度和范围。事实上,电镀镜适于需要几十赫兹(Hz)的扫描速度的应用,而多角镜能够实现几千赫兹...
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